X方向移动
导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式 |
高精度滑动导轨
200mm
0.5 μ m/100mm
光栅计数 |
Z方向移动(立拄)
导轨类型
移动长度
驱动方式
测量方式 |
高精度滑动导轨
400mm
滚珠丝杠
编码器 |
轮廓形状测量
传感器类别
测量范围
显示分辨率
相对误差 |
高精度差动电感式
± 0.03mm,±0.3mm,±3mm
0.001μm,0.01μm,0.1μm 0.005FS |
附 件(选配)
三维调整工作台
轴承专用工作台
|
水平、倾角、摆角调整
安装轴承 |
粗糙度测量
测量参数
测量范围
显示分辨率
相对误差 |
Ra、Rz、Ry 、 S、S m、 t p 等标准参数
R a 0.01~10μm
65536:1
3 % |
Y 向移动台(选购) 导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式 |
形貌测量用
滚动导轨
100mm
2 μ m/100mm
编码器 |